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西安微電子技術(shù)研究所于2018年6月自愿開展清潔生產(chǎn)審核工作，在行業(yè)專家及咨詢?nèi)藛T的指導(dǎo)下，于2019年9月完成清潔生產(chǎn)審核工作，2019年10月31日順利通過(guò)由西安市生態(tài)環(huán)境局組織的清潔生產(chǎn)審核績(jī)效評(píng)估會(huì)。

本輪清潔生產(chǎn)審核共篩選出可行的清潔生產(chǎn)方案29項(xiàng)，其中，無(wú)/低費(fèi)方案23項(xiàng)，共投資186.15萬(wàn)元，截止目前為止全部實(shí)施完畢，產(chǎn)生經(jīng)濟(jì)效益247.25萬(wàn)元；中/高費(fèi)方案6項(xiàng)，共投資1160萬(wàn)元，截止目前為止全部實(shí)施完畢，共產(chǎn)生經(jīng)濟(jì)效益38萬(wàn)元，同時(shí)所有方案實(shí)施后，所有已實(shí)施方案共計(jì)投資1346.15萬(wàn)元，節(jié)約成本285.25萬(wàn)元/a，年節(jié)約用電12.87萬(wàn)kwh，節(jié)約用水39002t，年節(jié)約過(guò)濾器540塊，年減少氯化氫、硫酸霧等酸性氣體排放10kg，年節(jié)約氮?dú)?26t，年節(jié)約硅片3000片，節(jié)約SOG30瓶，年減少?gòu)U切削液排放750L，年減少一般固廢產(chǎn)生2.5t，減少SO2排放0.28t/a、減少NOx排放4.3t/a，減少化學(xué)品揮發(fā)15kg、年減少NF3、CF4、CHF3等PFC尾氣排放120kg，減少COD排放140kg/a，減少氨氮排放840kg/a。取得了一定的環(huán)境效益和經(jīng)濟(jì)效益。